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容器組件

氧氣分析儀

  • 產(chǎn)品名稱: 氧氣分析儀
  • 產(chǎn)品型號:MS-500
  • 產(chǎn)品廠商:日本TORAY東麗
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹

氧氣分析儀

的詳細(xì)介紹
日本TORAY東麗      氧氣分析儀  MS-500   電/微   詳詢   趙13062644508

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型號:MS-500
MS-500
能夠同時測量多達(dá)8個點(diǎn)
顯示廣泛的濃度范圍,從ppm級別到100%
*適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備、真空設(shè)備等中。
直接插入式傳感器(帶真空法蘭的NW 16/25/40)
用于高耐用傳感器的特殊涂層,以提高耐用性

MS-500 規(guī)格
測量原理 鋯英石濃差電池類型
類型 分離式(轉(zhuǎn)換器:壁掛式;傳感器:直插式)
顯示系統(tǒng) 4位數(shù)字顯示(濃度顯示)
測量范圍 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0atm
自動范圍
重復(fù)性 在滿量程的±0.5%以內(nèi);范圍為0-1%或更高
在滿量程的±1%或±0.1 ppm,以較大者為準(zhǔn);范圍小于0-1%
在0-1 ppm,大氣壓范圍內(nèi)的濃度不再保修。
測量點(diǎn)數(shù)量 1~8
樣品氣體要求 壓力 10-3至200千帕(**壓力)
流量 0.5至5,000毫升/分鐘或0毫升/分鐘(自然分散狀態(tài)下測量)
濕度 露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
溫度 0到100°C
其他 不得含有腐蝕性氣體(氟氣、氯氣、硫酸氣體等)、含有機(jī)硅的氣體、易燃物質(zhì)(包括氣體)、油或水分
參考?xì)怏w 大氣層
錄音機(jī)輸出 **變速箱輸出
變速器輸出 RS-232C
報警輸出
熱身時間 6分鐘或更少
維度 MS-500(控制器) 92 毫米 (寬) × 44 毫米 (高) × 120 毫米 (深)  (不包括突出部分)
MS-510(轉(zhuǎn)換器) 100 毫米 (寬) × 40 毫米 (高) × 88 毫米 (深)  (不包括突出部分)
傳感器單元 SD16西北 總長度 100毫米(傳感器 ? 11×39,主體 ? 40×51)
SD25西北 總長度 100毫米(傳感器 ? 11×42,主體 ? 40×48)
SD40西北 總長度 100毫米(傳感器 ? 11×41,主體 ? 40×49)
重量 MS-500(控制器) 約0.6千克
MS-510(轉(zhuǎn)換器) 約0.5千克
傳感器單元 SD16西北 約0.2千克
SD25西北 約0.2千克
SD40西北 約0.35千克
外部連接 任何一種真空法蘭(NW16、25 或 40)
力量 24V直流電±10%  







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